什么是復(fù)合式的空氣凈化方式？
       復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
       1、潔凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100 %覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。
       此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
       潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A、彈性擴(kuò)充容易。B、維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
       2、潔凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
       3、并裝局部潔凈室：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用。潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
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